参数维度 参数
感知点密度 约10点/cm²，最高20,000点/cm²
压力范围 0-500kPa
响应时间 <5ms
蠕变
≤1%
采样频率 最高可达250Hz
检测限1.2g
传感器厚度 ≤500 μm
法向压力耐久性 >1,000万次
工作温度-10-60°C
工作湿度0-100%RH